ミニチュア真空ポンプは、そのサイズが小さいため小型真空ポンプと呼ばれることが多く、次のように定義されます。ミニチュア真空ポンプには 1 つの入口と 1 つの出口があり、入口で真空または負圧、出口でわずかに正圧を連続的に作り出すことができます。作動媒体は主にガスであり、コンパクトな機器です。
密閉容器（初期大気圧100kPa）を小型真空ポンプに接続し、真空排気を続けると、密閉容器内のガス圧力は最終的に大気圧よりも低下し、絶対圧60kPaに達します。さらに、特別な技術改良により、単機能のポンピング小型真空ポンプに加えて、加圧、充填、システム抵抗の克服などに使用される、ポンピングと排気の二重目的のポンプも開発できます（つまり、排気端で比較的大きな正圧を生成できます）。システム抵抗の克服などに使用できます。また、長時間のアイドリングやドライが必要な状況で使用できる、独自の水-ガス二重-小型真空ポンプもあります。-アイドリングや空運転により損傷する通常のウォーターポンプとは異なります。